晶圆厂机器人，要有标准了？

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晶圆厂移动机器人酝酿统一充电标准，三星 SK 海力士美光联合 SEMI 推进

晶圆厂里面用的移动机器人马上要有统一标准了，三星电子、SK 海力…

Lila54
2026年11月11日
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